次世代半導体エッチングガス | 製品情報 | セントラル硝子株式会社

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「次世代半導体エッチングガス」のページです。セントラル硝子株式会社は化成品、建築・住宅用ガラス、自動車用ガラス、電子材料、エネルギー材料、医療化学品、素材 ...

etching gasの意味・使い方・読み方 | Weblio英和辞書

ejje.weblio.jp/content/etching gas

It is preferable that the first etching gas contains the gas for which an etching gas is diluted by the Xe gas or the gas mixture of the Xe gas and an Ar gas.

エッチングガス（etching gas） とは？ 意味・読み方・使い方

dictionary.goo.ne.jp/word/エッチング...

エッチングガス（etching gas）とは。意味や使い方、類語をわかりやすく解説。ドライエッチングで用いられる、高い反応性を示すガス。フルオロメタン、ジフルオロ ...

ドライエ ッチ ングとガス - J-Stage

www.jstage.jst.go.jp/article/sfj1989/...

また,ガ スを排気する排. 気口の位置によっても,そ のエッチング速度分布. は影響を受 ける。特 に,化 学反応性が強いエッチ. ングの場合には顕著である。 ガス圧力は基板 ...

ｴｯﾁﾝｸﾞｶﾞｽ Etching Gas - 川口液化ケミカル

klchem.co.jp/blog/2010/07/etching_gas...

2010/07/22 ... ｴｯﾁﾝｸﾞｶﾞｽ Etching Gas ... Q.エッチングとは？ ... ポリシリコン、配線金属などに同じパターンを蝕刻する技術です。 ... で、真空中に反応ガスを入れて高周波 ...

エッチングガス - 事業情報 - SK 스페셜티

www.skspecialty.com/new/jpn/html/prod...

ペンタフルオロエタンC2HF5. 酸化膜、窒化物膜のエッチングに使用されます。 ... 半導体市場に高品質のエッチングガスを安定して供給しています。 顧客のニーズに先制的に ...

HFガスを用いたSiO2のバッチ式等方性 ガスエッチング装置の開発

www.ulvac.co.jp/technical_journal/85J...

... gas etching system that does not utilize H radicals. The isotropic gas etching process is used in semiconductor manufacturing to etch pattern structures and ...

高誘電体材料ドライエッチングガス

www.tn-sanso.co.jp/Portals/0/resource...

実験は，ガス圧力とガス組成比を変化させて行い，Si，SiO2 に. 対する高いエッチング選択性，および高い HfO2 エッチング速度を与えるプラズマ条. 件とエッチング ...

「エッチングガス」の英語・英語例文・英語表現 - Weblio和英辞書

ejje.weblio.jp/content/エッチングガス

エッチングガスを英語で訳すと etching gas - 約677万語ある英和辞典・和英辞典。発音・イディオムも分かる英語辞書。

エッチングガスとは？ 意味や使い方 - コトバンク

kotobank.jp/word/エッチングガス-21310...

デジタル大辞泉 - エッチングガスの用語解説 - ドライエッチングで用いられる、高い反応性を示すガス。フルオロメタン、ジフルオロメタン、トリフルオロメタン、六弗化 ...